MetalMUMPsは2003年より始まったニッケルめっきを用いるサーフェース・マイクロマシニングです。MEMSマイクロリレーの製造のために開発されたプロセスに起因し、その後、MUMPs向けにプロセスは洗練され、MetalMUMPsとして試作サービスを実施しています。スイッチやリレー製品を製造するのに使われています。
下記のデータ、資料等はMEMSCAP社サイトよりダウンロードできます。 MEMSCAP社サイト：ダウンロード
http://www.memscapinc.com/nc-mmumps.refs.html
MetalMUMPs Design rules 本デザインルールに従いマスクデータを設計 MetalMUMPs CAD Files 基本プロセス設定ファイルとデザインキット MetalMUMPs Reference Materials 物性値や基板仕様など MetalMUMPs Presentation プレゼンテーションデータ
●10 リソグラフィレイア ●電極プレート Ni 厚み(18-22um)