| MUMPsサービスのなかで最も長い歴史を持つPolyMUMPs は、1992年のサービス開始以来、全世界の企業、研究機関や大学から150サイト以上/800ダイ以上の試作の実績を持ち、MEMS業界において標準的に利用されているサーフェース・マイクロマシニングの試作サービスです。 PolyMUMPsは、3層ポリシリコンのサーフェース・マイクロマシニング・プロセスを用い、標準サービスでは、1cmx1cmのダイを15チップ納入します。尚、オプションでチップのダイシング、フッ化水素による犠牲層の除去や犠牲層除去後の付着を防止するCO2による乾燥処理が選択できます。 また、MEMSCAP社では、デザイン作成支援用にCaMELと呼ばれるライブラリを公開しており、使用頻度が高いデバイス要素を豊富に用意しております。 |  |
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| 下記のデータ、資料等はMEMSCAP社サイトよりダウンロードできます。 |
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