| SOIMUMPsは、SOI基板を使用する試作サービスで、MEMSCAP社のVOA製品ラインにおいて製造実績のあるSOIプロセスと技術に起因します。プロセスは、光学系MEMS製品の量産で使われているSOIパターニングとエッチングプロセスフローに基づいています。SOIMUMPsは、熱や静電駆動を含む様々なMEMS構造やVOAや1軸/2軸ミラーのようなテレコム向けの光学デバイスの開発に役立ちます。 |  |
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| 下記のデータ、資料等はMEMSCAP社サイトよりダウンロードできます。 MEMSCAP社サイト：ダウンロード |
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http://www.memscapinc.com/nc-smumps.refs.html |
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