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| Tronicsは1軸、2軸の静電アクチュエーター技術でミラースイッチ、スキャナーやアダプティブミラーデバイスの実現のための製造技術と特別なノウハウを確立しました。 |
これらの技術は以下です:
- 非常に抵抗の高い単結晶シリコン構造(SOI) の機械的動作
- DRIEによってエッチングされた水平移動型櫛歯ドライブコンポーネント、および垂直移動型バーティカル櫛歯ドライブコンポーネント
- 金薄膜ベースのコーティング技術によるミラーの高反射率の実現
- 静電気による付着防止技術
- 非反射性コーティングによるウェハーレベルパッケージ
- 高速かつ低電圧のための高真空パッケージング技術
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このノウハウに基づいた技術でOEM先は高性能なカスタムの光MEMSデバイス製品を市場へ提供し、顧客の光MEMS戦略をTronicsは解決することができます。
Tronicsが参画した商品開発プロジェクトは以下の例があります。 |
| アレイ型ミラースイッチ: |
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すべての光スイッチングアプリケーションと再構成可能な多重回線化装置は将来的に光の電気通信における増加に重要な役割を果たすでしょう。 共同開発先であるアルカテルとの主なコンポーネント、およびサブシステムメーカーのために、TronicsはROADMのためにミラーアレイの機能性を示しました
- 1×4と1×40のデジタルミラーアレイ
- スイッチング時間： <1ms 50V、60Hz
- 単結晶シリコン構造(SOI)
- 高反射率のな低ストレス金メッキ
- 非反射的なガラスコーティングがあるWafer Level Packaging
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アダプティブオプティクス |
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ビームの焦点調整か画像の修正には正確なアダプティブ型の光学素子を必要とします。 Tronicsは多目的のアプリケーションのためにアダプティブ型の静電型の光学薄膜を共同開発することができます。 |
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