CoventorWareはMEMSの設計・解析、最適化を行うMEMS専用ソフトウェアです。また、プロセスエミュレータ、電磁界シミュレータも供給しています。

MUMPsとMEMSOIはマルチユーザ向けMEMS試作サービスです。また、中規模量産可能なTronics社のMEMSファンドリサービスも提供しております。

研究開発から量産まで対応できる幅広いナノインプリント装置を提供しております。

MSYS－MAPはMEMS加速度センサをウェハレベルで動作確認し、各軸毎の出力計測を行った上で良否判定を行う装置です。

MSYS－MACSは、MEMS加速度センサを指定温度下で校正・動作試験する自動装置です。デバイスへの補正値書込みも可能です。