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MetalMUMPsは2003年より始まったニッケルめっきを用いるサーフェース・マイクロマシニングです。MEMSマイクロリレーの製造のために開発されたプロセスに起因し、その後、MUMPs向けにプロセスは洗練され、MetalMUMPsとして試作サービスを実施しています。スイッチやリレー製品を製造するのに使われています。
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MetalMUMPsに関わるデータ、資料などはMEMSCAP社サイトよりダウンロード下さい。
http://www.memscap.com/mumps/nc-mmumps.refs.html
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| MetalMUMPs
Design rules |
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本デザインルールに従いマスクデータを設計
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| MetalMUMPs
CAD Files |
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基本プロセス設定ファイルとデザインキット
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| MetalMUMPs
Reference Materials |
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物性値や基板仕様など
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| MetalMUMPs
Presentation |
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プレゼンテーションデータ
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デザインのご提出がきまりましたら、
丸紅情報システムズにお申込下さい。 |
【お問合せ先】
丸紅情報システムズ株式会社
TEL:03-5778-8580 |
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