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MUMPsサービスのなかで最も長い歴史を持つPolyMUMPs
は、1992年のサービス開始以来、全世界の企業、研究機関や大学から150サイト以上/800ダイ以上の試作の実績を持ち、MEMS業界において標準的に利用されているサーフェース・マイクロマシニングの試作サービスです。
PolyMUMPsは、3層ポリシリコンのサーフェース・マイクロマシニング・プロセスを用い、標準サービスでは、1cmx1cmのダイを15チップ納入します。尚、オプションでチップのダイシング、フッ化水素による犠牲層の除去や犠牲層除去後の付着を防止するCO2による乾燥処理が選択できます。
また、MEMSCAP社では、デザイン作成支援用にCaMELと呼ばれるライブラリを公開しており、使用頻度が高いデバイス要素を豊富に用意しております。
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※ PolyMUMPsに関わるデータ、資料などはMEMSCAP社サイトよりダウンロード下さい。
http://www.memscap.com/mumps/nc-pmumps.refs.html
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| PolyMUMPs
Run data |
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Run#5
以降で公表されているRumデータ
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| PolyMUMPs
Design rule |
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本デザインルールに従いマスクデータを設計
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| PolyMUMPs
CAD Files |
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基本プロセス設定ファイルとデザインキット
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| CaMEL
Library |
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デザイン作成支援用のライブラリ
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| PolyMUMPs
Reference Library |
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Technical
FAQなど
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| PolyMUMPs
Presentation |
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プレゼンテーションデータ
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デザインのご提出がきまりましたら、
丸紅情報システムズにお申込下さい。 |
【お問合せ先】
丸紅情報システムズ株式会社
TEL:03-5778-8580 |
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