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2007年 MUMPs 価格表 |
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PoluMUMPs, MetalMUMPs, SOIMUMPs |
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| *4インチウエハ上に1cm
x 1cmのダイスペース |
| *ダイロケーションごとに最大15個のチップを提供 |
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一般価格 |
￥600,000 |
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アカデミック価格 |
￥420,000 |
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ポストプロセス（オプション）
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サブダイシング _ PolyMUMPs、MetalMUMPsで利用可能 |
*HFリリース/CO2ドライを処理する場合、最大2カット
（最小チップサイズ5mmx5mm)まで |
*HFリリース/CO2ドライを処理しない場合、最大6カット
（最小チップサイズ2.5mmx2.5mm)まで |
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1カットあたり |
￥30,000 |
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HFリリース _ PolyMUMPsで利用可能 |
| *フッ化水素を用いての犠牲層除去工程 |
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15チップ/サブチップあたり |
￥60,000 |
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HFリリース+CO2ドライ _ PolyMUMPsで利用可能 |
| *HFリリースにて犠牲層除去後、構造体のスティキング防止のための乾燥 |
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15チップ/サブチップあたり |
￥170,000 |
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| ※ |
記載の金額は予告なしに変更することがあります。
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| ※ |
記載の金額には消費税は含まれておりません。
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