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SOIMUMPsは、SOI基板を使用する試作サービスで、MEMSCAP社のVOA製品ラインにおいて製造実績のあるSOIプロセスと技術に起因します。プロセスは、光学系MEMS製品の量産で使われているSOIパターニングとエッチングプロセスフローに基づいています。SOIMUMPsは、熱や静電駆動を含む様々なMEMS構造やVOAや1軸/2軸ミラーのようなテレコム向けの光学デバイスの開発に役立ちます。
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SOIMUMPsに関わるデータ、資料などはMEMSCAP社サイトよりダウンロード下さい。
http://www.memscap.com/mumps/nc-smumps.refs.html
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| SOIMUMPs
Design Rules |
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本デザインルールに従いマスクデータを設計 |
| SOIMUMPs
CAD Files |
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基本プロセス設定ファイルとデザインキット |
| SOIMUMPs
Presentations |
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プレゼンテーションデータ |
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デザインのご提出がきまりましたら、
丸紅情報システムズにお申込下さい。 |
【お問合せ先】
丸紅情報システムズ株式会社
TEL:03-5778-8580 |
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