「MEMS（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム）」を活用した加速度測定デバイス（加速度センサ）の稼動検査・校正装置「Msol-MACS（エムソル・マックス）」を発売しました。
エムソル・マックスは、MEMS加速度センサデバイスの量産工程で、完成したデバイスの動作出力を検査測定し、補正値を計算し、正確な動作を保証するよう補正値をデバイスに書き込みます。
検査方法は、－40℃～＋100℃の温度環境下で、姿勢制御により実際に加速度を加え、デバイスの稼動状況を測定します。測定したデータから計算（キャリブレーション計算：校正計算）した補正データをデバイスに書き込むことで、微妙な生産誤差を修正することができます。1時間あたり最大1,500個程度のデバイスを検査することが可能です。
MEMS加速度センサは、自動車のエアバックセンサなど衝撃測定で実際に活用されており、今後の用途拡大が見込まれているデバイスです。正確な加速度測定と稼動が要求され、生産工程においてバラツキ誤差も吸収しなければなりません。エムソル・マックスでデバイスを全数検査することで、正確に稼動するデバイスを安定的に生産することが可能となります。
