Msol-MACS
Msol-MACSの概要
構成と動作
特長
　
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特長
Msol-MACSは、MEMS加速度センサデバイスの生産工程で、完成したデバイスが想定どおり稼動するかを検査する装置です。検査方法は、－40℃～＋100℃の気温環境下で、姿勢制御により実際に加速度を加え、デバイスの稼動状況を測定します。測定したデータから計算（キャリブレーション計算：校正計算）した補正データをデバイスに書き込むことで、微妙な生産誤差を修正することができます。1時間あたり最大1,500個程度のデバイスを検査することが可能です。

●低温技術と高精度制御に対する深い知識と経験に裏付けられた技術

●各種専門知識をもつ技術者集団により開発

●750－1500個/時間の高いスループット

●高精度な測定により、高精度MEMS加速度センサを実現

●M/STePシステムの組み込み可能

●指定温度下(-40℃から+100℃）で加速度付加測定するため、あらゆる環境に対応するセンサを実現

●特殊ボート使用により、各種サイズのMEMSセンサの低価格でサポート

●オプションにより、FunctionTestも同時に測定可能
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