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MEMS加速度センサは半導体製造装置でつくれる半導体製品の一種ですが、構造体に可動部分があり、たいへん歩留まりが悪いといわれています。加速度センサの検査装置は当社のMsol－MACSを含め、パッケージの状態検査しますので、パッケージ後しか検査ができません。従って、不良品をパッケージングしてしまうことにより、無駄なコストが生じていました。
Msol－MACSはパッケージングをする前に、ウエハ段階でX,Y、Z軸のそれぞれに同時に加速度を与え、加速度センサーの3軸の可動チェックをすることにより、不良品をパッケージングすることを防ぎ、製造時間とコストを大幅に節減することを可能にします。
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