Msol-MAP
Msol-MAPの概要
構成と動作
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構成と動作
MEMS加速度センサウェハに、検査ステージを傾斜させる事で重力加速度を印加します。加速度印加状態で、専用プローブを使用してデバイスの軸出力を個別計測し、任意の判定閾値と比較することで良否判定を行います。

1. ウェハを センサ軸方位 θ45°回転させて検査ステージ上に設置します。

2. X-Y軸 0G Z軸 1G 状態の各軸出力を計測します。

3. 検査ステージを 45°傾斜させ 静止状態で 各センサ素子の出力値を計測します。

4. 水平・傾斜時の出力値を任意に設定した良否判定基準と比較します。

5. 水平・傾斜時の出力変化量を任意に設定した良否判定基準と比較します。

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