1. ウェハを センサ軸方位 θ45°回転させて検査ステージ上に設置します。
2. X-Y軸 0G Z軸 1G 状態の各軸出力を計測します。
3. 検査ステージを 45°傾斜させ 静止状態で 各センサ素子の出力値を計測します。
4. 水平・傾斜時の出力値を任意に設定した良否判定基準と比較します。
5. 水平・傾斜時の出力変化量を任意に設定した良否判定基準と比較します。