低温プロセスとしてＵＶナノインプリントに対応し、サブミクロン台でのアライメント精度を真空チャンバー内で達成します。 |
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| 製造メーカ： ナノクラフトテクノロジーズ製（産総研技術移転ベンチャー） |
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 高精度アライメント |
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| ピエゾアライメントシステムにより真空中でのサブミクロン台のアライメント精度を達成します。 | |||||||||||||||||
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| 微調平行調整機能 |
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| サブミクロン台での微調平行調整機能も有し、接触時の位置ずれを防ぎ、均一荷重を達成します。 | |||||||||||||||||
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| 微小圧コントロール |
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| ＵＶナノインプリントに要望される微小圧から熱ナノインプリントに求められる高加圧までをフレキシブルに対応します。 | |||||||||||||||||
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| 微小送り機能 |
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| 微小圧検出手段による接地検地機能と0．1μｍ以内の微小送り分解能を達成します。 | |||||||||||||||||
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| 種々のオプション設定 |
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| 種々のオプション設定によりマニュアルからフルオートまで熱／ＵＶ式の選択が可能です。 | |||||||||||||||||
●アライメント機能（マニュアル／フルオート） |
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