ナノインプリント | 丸紅情報システムズ

研究開発用途に特化した、デスクトップサイズの超小型熱ナノインプリント装置です。高性能セラミクスヒータと高精度サーボモータを搭載したインプリントヘッド、温度、荷重、変位の各制御はPCの専用プログラムで行え、使い易いユーザインターフェースを備えた装置です。成形部分を真空環境に設定することも可能です。本装置にて、熱ナノインプリントプロセスが効率よく高精度に行えます。また、操作者の安全を確保するためのインターロック機構および緊急停止ボタンを設けております。

製造メーカ：
ナノクラフトテクノロジーズ製（産総研技術移転ベンチャー)

システム構成

■本体部

ナノインプリントプロセスを行います。

■入力部

プロセス条件の入力、プロセスの実行、停止の指令を行います。また、本体の動作状態をモニタすることができます。本体とは伸縮性専用固定台で一体化されています。

■真空ポンプ部

真空環境でのプロセスに対応するための真空排気装置です。本体の真空チャンバ部と真空チューブで接続されます。

	NI-273	NI-900
加熱温度	650度（最大700度まで）
有効エリア	25mm x 25mm	50mm x 50mm
加圧力	2kN	10kN
ヘッド位置分解能	0.1um以下
冷却	自然冷却
外寸	1290×750×560(mm)突起物を含まず
重量	約190kg

電源	三相AC200V 30A
圧空	クリーンドライエア　0.5Mpa以上（客先圧空）
真空	ロータリポンプ付属

加圧部	モータ制御によりヘッドに取り付けられたスタンパを、基板に加圧し転写を行います。
加熱部	電力調整によるセラミックヒータを用います。
電装部	装置の動作制御、加熱制御を行います。

【Optical Divices】

	マイクロレンズ
	光導波路
	微小光学素子（マイクロレンズアレー、偏光板、無反射膜、回折格子など）
	フォトニック結晶素子

【Bio and Fluidic Devices】

マイクロ流体（バイオチップ、細胞培養チップ、微小流路など）

【Patterned Media】

記録メディア（DVD、HDなど）

PC制御にて装置操作、ヒータ温度、ヘッド部の荷重、位置速度をコントロールします。

金型を均一に成形する為には、加熱機構（ヒータ）の面内温度均一性、加圧力の均一性が非常に重要な要因です。

温度制御　Temperature uniformity of the heater

■昇温度速度：	室温～250℃/10秒以内　室温～650℃/30秒以内
■温度分布：	1%以内／□25（但し温度200℃時）　ただし650℃においては4%以内