MEMS流量センサーの米シアーゴ社と総販売代理店契約締結 丸紅情報システムズが世界で実績ある流量センサーを販売

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2008年11月10日
丸紅情報システムズ株式会社

丸紅情報システムズ株式会社(本社:渋谷区渋谷3-12-18 社長 小川 和夫)は、米国の流量センサー専門企業であるシアーゴ(Siargo)社(3120 De La Cruz Boulevard, Suite 114, Santa Clara, CA 95054 USA 社長 Liji Huang 氏)と、日本国内における総販売代理店権契約を締結しました。11月10日よりシアーゴ社が開発した、気体や液体が流れる量を測定する流量センサー(*1)商品の販売を開始します。

商品は主に3種類。一つはMEMS(*2 Micro Electro Mechanical System)技術により製造されたセンサー単体で、MEMSチップとして販売します。二つ目は、ガスや液体を流す管もしくはチューブに取り付けるコネクターに、センサーを組み込んだ「FSシリーズ」。現在、呼吸装置や麻酔装置などの医療機器向けと、ガスを多く使用する半導体製造など産業機器向けに対応しています。三つ目は、MEMSセンサーと測定結果の電子表示メーターを組み合わせた「MFシリーズ」。酸素、窒素、水素、二酸化炭素、アルゴンガスなど一般的な産業用の幅広いガス流量の測定に対応します。

シアーゴのセンサー製品の特長は、MEMSセンサー部をドイツのファブ(*3)で量産し、中国の自社工場や製造委託工場で後工程処理を行う中、製造コストを削減し、低価格を実現したことです。現在までに、北米、欧州、中国で採用実績があります。日本国内では、国内総代理店として丸紅情報システムズが初めて販売します。
シアーゴの流量センサーは、微小のヒーターで暖めた流体がセンサー上を通過する際、流れる速度や質量に伴う温度の変化を元に流量を測定します。幅2mm、長さ4mmのシリコン基板上にMEMS製造技術で生産するため、品質のばらつきが少ないことが特長です。また、センサーチップの表面は、ナノ単位(*4)の厚さのシリコン膜で保護されており、水滴や微粒子の付着、圧力による損壊、経年劣化を防ぎます。

シアーゴ社の流量センサーの価格は、「FSシリーズ」が1万円(税抜)から、「MFシリーズ」が10万円(税抜)から。MEMSチップは、受注生産で量産する数量により価格が変動します。MEMSチップをユーザの仕様に合わせてカスタマイズし、受注生産することも可能でOEM(Original Equipment Manufacturing 相手先ブランドの生産)にも対応します。丸紅情報システムズでは、麻酔装置や呼吸装置など医療系機器への組み込みや、半導体や製鉄、飲料などの製造で必要となる酸素や塩素、窒素など工業用ガス用計測の市場に向けて拡販します。初年度売上目標は1億円です。

<シアーゴ社製流量チップの主な特長>

  1. センサー表面のシリコン膜によるナノコーティングにより水滴や微粒子の付着が非常に少なく、高い圧力耐性を実現。パイプ内に設置し流量を直接計測することが可能で、圧力損失が少ない
  2. 流体の温度上昇、圧力耐性、測定できる流体の種類、最大流速度におけるダイナミックレンジが広い
  3. 低消費電力・高精度・長寿命を実現
  4. 低い流量分布幅でも高感度を維持
  5. 標準的なインターフェース(例:RS485、 RS232、アナログリニア、アナログノンリニア、パルス)を搭載し、ネットワーク化が容易
  6. 将来的には気体だけでなく液体の計測も実現可能
  7. 医療用センサーは消毒液による滅菌が可能
(図1)マスフローセンサー動作原理図
マスフローセンサー動作原理図
(図2)MEMSセンサーチップ図
MEMSセンサーチップ図
マスフローメーター製品図 マスフローセンサー製品図
Siargoマスフローメーター Siargoマスフローセンサー
【シアーゴ(Siargo)社について】
シアーゴ社は、2003年米国カリフォルニア州で設立されたプライベート企業で、MEMS流量センサーおよびメーターにフォーカスした自社製品を製造、販売しています。本社はカリフォルニア州サンタクララで、工場は中国の成都にあり、北京、上海に事務所を構えます。従業員数は、約60名です。設立以来、ヨーロッパ、米国、アジアに販売網を広げ、MEMSセンサーはドイツの製造受託企業マイクロファブ社で生産しています。製造方法や構造に関しての米国特許を7件(別途出願中のもの8件)、ISO9001:2000認定を取得しています。EMS大手のFoxconn(鴻海精密工業 本社:台湾)からも出資をうけており、後工程の大量生産に関してはFoxconnで行っています。
【シアーゴ社のマスフローメーターについて】
シアーゴ社のマスフローメーターは、都市ガス計測場所や、製鉄所、飲料工場、水処理場における酸素や塩素等から成る工業用ガスの計測と制御、圧縮空気の制御での使用を想定して作られています。導入実績としては、天然ガス分野においては、香港の都市ガス会社「煤気」、China Petro、Oaklidge(California Institution)など中国企業を中心に45社以上で利用実績があります。一方、産業ガス分野では、中国の炭酸飲料のCO2計測にコカコーラ社がシアーゴ社のマスフローメーターを選択しています。シーメンス社は、北米でビルの換気システム制御に同製品を活用しています。
【シアーゴ社のマスフローセンサーについて】】
シアーゴ社のマスフローセンサーは、麻酔装置や呼吸装置を扱い、輸液管理を必要とする医療分野や、ダクト内の気流制御等の空調分野、GC分光計、エアーサンプラー、ガス解析等の分析機器、半導体等の製造装置、燃料電池等の幅広い応用分野で利用されます。導入実績は、米国の呼吸機器メーカーのビアシス(VIASYS)やベルギーの麻酔機器メーカーのDEMEC、その他韓国企業やマレーシア企業などで利用されています。特に医療用途で信頼性がある製品です。一方、センサーアプリケーション分野では、シンガポール、スロベニア、ドイツ、ニューヨーク証券取引所に登録されている中国の麻酔機器企業などに導入されています。
【丸紅情報システムズについて】
丸紅情報システムズは、最先端ITを駆使した付加価値の高いソリューションやサービスを、お客様視点で提供するソリューションプロバイダです。製造・流通・サービス業を中心とする様々な業界の知見と高度な提案力、コンサルティングからシステム設計・構築、運用・保守サービスまでをワンストップで提供する総合力、そして、グローバルな視点からお客様の差別化に貢献する最先端技術が私たちの強みです。エンタープライズソリューション、製造ソリューション、プラットフォーム&ネットワーク、データセンターを軸とするビジネスサービスの4つの事業展開でお客様のビジネスを支援します。
丸紅情報システムズは、シアーゴ社の日本国内総販売代理店です。
<お問い合わせ先>
丸紅情報システムズ株式会社
URL: http://www.marubeni-sys.com
〒150-0002東京都渋谷区渋谷3-12-18 渋谷南東急ビル
広報室(プレス関係者窓口)電話:03-5778-8885 ファックス:03-5778-8999
<製品に関するお問い合わせ>
丸紅情報システムズ株式会社
製造ソリューション事業本部 デバイスソリューション部
電話:(東京)03-5778-8663 (大阪)06-6395-5529

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