毎分50マイクロリットルの超微小液体流量を測定
米シアーゴ社製MEMSサーマル方式液体流量センサーFSL1000シリーズの販売開始

丸紅情報システムズ株式会社（本社：渋谷区渋谷3-12-18 社長 小川　和夫）は、流量センサー(*1)専門企業の米シアーゴ（Siargo）社(2041 Mission College Boulevard, Suite 250, Santa Clara, CA 95054 USA、 社長 Liji Huang 氏) 製の液体流量センサーFSL1000 シリーズの販売を7月9日より開始します。

シアーゴ社FSL1000 シリーズは、MEMS（*2）技術を活用した、温度センサーの技術により、液体流量を計測します。配管内に設置し、液体を微小のヒーターで暖め、その先にあるMEMSセンサー上を通過する際、流れる速度や質量に伴う温度の変化を元に液体流量を測定します。超音波や歯車による測定方式とは異なります。毎分50マイクロリットルの超微小液体流量を計測することができるため、生産設備や液体分析機器等の液体制御の分野に使用できます。

外寸は、幅34mm、高さ49mm、奥行き18.5mmからで、流量レンジによって５種類のパッケージがあります。 製品のラインナップは、口径が1mmの「FSL1001」、3mmの「FSL1003」/「FSL1003P」、8mmの「FSL1008」/「FSL1008P」の五つです。接液部の材料は、ポリカーボネート樹脂です。標準製品で計測可能な液体は水、灯油およびエンジンオイルです。その他の液体については、顧客の要望により仕様を変更するなど、個別に対応します。FSL1000シリーズは、①アラーム機能を持つバブル検出機能、②バッテリー駆動可能な省電力の二つの特長をもっています。

（画像左）FSL1000シリーズ	（画像右）FSL1008

また、シアーゴ社独自のMEMS構造をもった温度センサーは、表面を窒化シリコンセラミックの薄いフィルムと特殊なナノコーティングで保護し、高い耐水性能と耐薬剤性能を持っています(*3)。従来の機械式液体流量センサーより高精度で、かつ半分以下の低価格を実現しました。　

液体流量センサーFSL1000 シリーズの標準価格は、13,000円（税別）から22,000円（税別）です。 丸紅情報システムズでは、医療機器、薬品製造、ボイラー等の燃料制御、潤滑油制御その他、水をはじめとする液体流量を計測する工業計器や生産設備向けに販売します。初年度3千万円、3年後2億円の売上をめざします。

液体フローセンサー製品の仕様は以下のとおりです。

（補足※1） FSL1003およびFSL1008はオプションでディスプレーを追加することができ、流量や積算流量等をその場で確認することができます。 （補足※2） ＦＳＬ1001は別売の接続ブロックで様々な継ぎ手に対応できます。 また、FSL1003およびFSL1008はオプションでその他の継ぎ手にも対応可能です。

（*1）流量センサー：通称マスフロー（質量流量）センサー。流体の流れを、その質量で求めるセンサーで、実際に流体が流れた量を正確に測定可能。タービン等の機械式センサーでは流量を体積で計測するが、流体は温度や圧力で体積が異なるので、これらの要素を使って補正計算をする必要がある。

（*2）MEMS : Micro Electro Mechanical Systems。機械系とともに電気・電子回路も微細化して組み込んだシステム。半導体の製造工程を利用して量産することが可能。

（*3）シアーゴ社の流量センサーは、微小のヒーターで暖めた流体がセンサー上を通過する際、流れる速度や質量に伴う温度の変化を元に流量を測定します。幅2mm、長さ4mmのシリコン基板上にMEMS製造技術で生産するため、品質のばらつきが少ないことが特長です。また、センサーチップの表面は、ナノ単位（*4）の厚さのシリコン膜で保護されており、水滴や微粒子の付着、圧力による損壊、経年劣化を防ぎます。

（*4）ナノ単位：1ナノメートル = 0.000 000 001メートル（10－9m）

製品ホームページhttp://www.marubeni-sys.com/device/srg/

【シアーゴ（Siargo）社について】
シアーゴ社は、2003年米国カリフォルニア州で設立されたプライベート企業で、MEMS流量センサーおよびメーターにフォーカスした自社製品を製造、販売しています。本社はカリフォルニア州サンタクララで、工場は中国の成都にあり、北京、上海に事務所を構えます。従業員数は、約６０名です。設立以来、ヨーロッパ、米国、アジアに販売網を広げ、MEMSセンサーはドイツの製造受託企業マイクロファブ社で生産しています。製造方法や構造に関しての米国特許を７件（別途出願中のもの8件）、ISO9001:2000認定を取得しています。EMS大手のFoxconn（鴻海精密工業　本社：台湾）からも出資をうけており、後工程の大量生産に関してはFoxconnで行っています。

【丸紅情報システムズについて】
丸紅情報システムズは、最先端ITを駆使した付加価値の高いソリューションやサービスを、お客様視点で提供するソリューションプロバイダです。製造・流通・サービス業を中心とする様々な業界の知見と高度な提案力、コンサルティングからシステム設計・構築、運用・保守サービスまでをワンストップで提供する総合力、そして、グローバルな視点からお客様の差別化に貢献する最先端技術が私たちの強みです。エンタープライズソリューション、製造ソリューション、プラットフォーム＆ネットワーク、データセンターを軸とするビジネスサービスの4つの事業展開でお客様のビジネスを支援します。
丸紅情報システムズは、米国シアーゴ社の日本国内総販売代理店です。

＜お問い合わせ先＞
丸紅情報システムズ株式会社
URL: http://www.marubeni-sys.com
〒150-0002東京都渋谷区渋谷3-12-18　渋谷南東急ビル
広報課（プレス関係者窓口） 電話：03-5778-8885 ファックス：03-5778-8999

＜製品に関するお問い合わせ＞
丸紅情報システムズ株式会社　製造ソリューション事業本部　セミコンダクターソリューション部
電話：（東京）03-5778-8663、（大阪）06-6395-5529

2009年7月9日

＊文中の製品名および会社名は、各社の商標または登録商標です。価格・形式は予告なく変更になる場合があります。