毎分50マイクロリットルの超微小液体流量を測定 米シアーゴ社製MEMSサーマル方式液体流量センサーFSL1000シリーズの販売開始

ニュース
2009年07月09日
丸紅情報システムズ株式会社

丸紅情報システムズ株式会社(本社:渋谷区渋谷3-12-18 社長 小川 和夫)は、流量センサー(*1)専門企業の米シアーゴ(Siargo)社(2041 Mission College Boulevard, Suite 250, Santa Clara, CA 95054 USA、 社長 Liji Huang 氏) 製の液体流量センサーFSL1000 シリーズの販売を7月9日より開始します。

シアーゴ社FSL1000 シリーズは、MEMS(*2)技術を活用した、温度センサーの技術により、液体流量を計測します。配管内に設置し、液体を微小のヒーターで暖め、その先にあるMEMSセンサー上を通過する際、流れる速度や質量に伴う温度の変化を元に液体流量を測定します。超音波や歯車による測定方式とは異なります。毎分50マイクロリットルの超微小液体流量を計測することができるため、生産設備や液体分析機器等の液体制御の分野に使用できます。

外寸は、幅34mm、高さ49mm、奥行き18.5mmからで、流量レンジによって5種類のパッケージがあります。
製品のラインナップは、口径が1mmの「FSL1001」、3mmの「FSL1003」/「FSL1003P」、8mmの「FSL1008」/「FSL1008P」の五つです。接液部の材料は、ポリカーボネート樹脂です。標準製品で計測可能な液体は水、灯油およびエンジンオイルです。その他の液体については、顧客の要望により仕様を変更するなど、個別に対応します。FSL1000シリーズは、①アラーム機能を持つバブル検出機能、②バッテリー駆動可能な省電力の二つの特長をもっています。

Siargo液体フローセンサーFSL1000シリーズ

Siargo液体フローセンサーFSL1008
(画像左)FSL1000シリーズ (画像右)FSL1008

また、シアーゴ社独自のMEMS構造をもった温度センサーは、表面を窒化シリコンセラミックの薄いフィルムと特殊なナノコーティングで保護し、高い耐水性能と耐薬剤性能を持っています(*3)。従来の機械式液体流量センサーより高精度で、かつ半分以下の低価格を実現しました。

液体流量センサーFSL1000 シリーズの標準価格は、13,000円(税別)から22,000円(税別)です。
丸紅情報システムズでは、医療機器、薬品製造、ボイラー等の燃料制御、潤滑油制御その他、水をはじめとする液体流量を計測する工業計器や生産設備向けに販売します。初年度3千万円、3年後2億円の売上をめざします。

液体フローセンサー製品の仕様は以下のとおりです。

Siargo液体フローセンサー仕様

(補足※1)
FSL1003およびFSL1008はオプションでディスプレーを追加することができ、流量や積算流量等をその場で確認することができます。

(補足※2)
FSL1001は別売の接続ブロックで様々な継ぎ手に対応できます。
また、FSL1003およびFSL1008はオプションでその他の継ぎ手にも対応可能です。

【シアーゴ(Siargo)社について】
シアーゴ社は、2003年米国カリフォルニア州で設立されたプライベート企業で、MEMS流量センサーおよびメーターにフォーカスした自社製品を製造、販売しています。本社はカリフォルニア州サンタクララで、工場は中国の成都にあり、北京、上海に事務所を構えます。従業員数は、約60名です。設立以来、ヨーロッパ、米国、アジアに販売網を広げ、MEMSセンサーはドイツの製造受託企業マイクロファブ社で生産しています。製造方法や構造に関しての米国特許を7件(別途出願中のもの8件)、ISO9001:2000認定を取得しています。EMS大手のFoxconn(鴻海精密工業 本社:台湾)からも出資をうけており、後工程の大量生産に関してはFoxconnで行っています。
【丸紅情報システムズについて】
丸紅情報システムズは、最先端ITを駆使した付加価値の高いソリューションやサービスを、 丸紅情報システムズは、最先端ITを駆使した付加価値の高いソリューションやサービスを、お客様視点で提供するソリューションプロバイダです。製造・流通・サービス業を中心とする様々な業界の知見と高度な提案力、コンサルティングからシステム設計・構築、運用・保守サービスまでをワンストップで提供する総合力、そして、グローバルな視点からお客様の差別化に貢献する最先端技術が私たちの強みです。エンタープライズソリューション、製造ソリューション、プラットフォーム&ネットワーク、データセンターを軸とするビジネスサービスの4つの事業展開でお客様のビジネスを支援します。
丸紅情報システムズは、米国シアーゴ社の日本国内総販売代理店です。
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URL: http://www.marubeni-sys.com
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丸紅情報システムズ株式会社
製造ソリューション事業本部 セミコンダクターソリューション部
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