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狭小バンプの全数高速検査を実現
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| BHT-1000G ～金バンプ高さ検査装置～ | |
| 昨今 金バンプ工程では、狭小化、狭ピッチ化が進んできており、それに伴いバンプ測定精度の維持が難しくなってきております。また、抜き取り検査から全数検査のニーズが高まってきており検査能力が足りなくなってきております。 本装置は、現状直面しているこれらの問題を解決できる装置であります。独自のアルゴリズムにて走査型白色干渉法を採用することで、狭小バンプを全数にて高速検査を行うことを実現致しました。 |
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特徴 ・ 走査型白色干渉法による高精度検査 ・ 優れた再現性 3σ＜0.3um ・ 狭小バンプ、狭ピッチ、低バンプに対応 測定限界無し ・ 全数検査に対応できる高スループット ・ レンズを変更することで高倍率精度検査に対応（高さ計測再現精度 3σ＜0.1um） ・ バンプ欠陥の検出（高さ異常、突起、欠け、窪み等） ・ 簡易なレシピ作成 （バンプレイアウトのオート設定等） ・ 使いやすいソフトウェア ・ 優れたCOO |
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チップ高さ別色分け表示
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バンプ高さグラフ |
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| バンプ高さヒストグラム | |
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| オプションの3D観察機能 | |
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