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DR Yield社独自の監視アルゴリズムにより、大量のウェハ・テストデータから、パラメータの変動をリアルタイム・モニタリングする事で、歩留り低下を未然に防止
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| YieldWatchDog™ ～歩留り監視システム～ | |
| 特長 半導体の微細化に伴い、異物による歩留りの低下のみならず、プロセス変動等に起因するパラメトリック歩留りの問題がクローズアップされてきました。 DR YIELD社のYieldWatchDog™は、電気的ウェハテストデータを使って、これまでにない高度な効率性と徹底した一貫性を持って、歩留まりパラメータを監視・改善するツールです。大量のテストデータをハンドリングする事とメンテナンス・操作の容易性を主眼とし、それに伴う数々のハードルを克服する事によって、製品解析・テストの担当者を始めとする方々にとって使いやすいシステムを実現しました。 |
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基本機能
自動データ登録・管理 自動判定、アラーム通知 トレンドチャート、EWMAチャート パレトチャート、マップギャラリ |
オプション機能
装置監視モジュール 特徴的空間シグネチャ検出モジュール アドバンスト・クオリティ・モジュール 多変量データ監視モジュール |
システム構成 サーバ：Windows 2003 Server クライアント：Wondows XP Professional |
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