Stratosphere社独自のTEGテクノロジにより高精度なプロセスキャラクタライズを実現いたします。

ウェハ最終テストパラメータ、特性データをリアルタイム監視するシステムです。

Equipment Adapter

半導体・液晶の製造装置/検査装置を容易にホストコンピュータに接続する通信パッケージソフトウェアです。

EDA Adapter

装置にEDA(Equipment Data Acquisision)の機能を容易に組み込むためのパッケージソフトウェアです。

InterfaceA Client Simulator

InterfaceA対応の装置との通信テストを行うツールです。

45nmの最先端ラインから小口径ウェハ（50mm以上）まで、さまざまなニーズに対応可能なウェハ表面検査装置です。

高精度露光が可能なR&D用プロキシミティ露光装置です。

独自アルゴリズムよる走査型白色干渉法を採用することで、狭小バンプの高速な全数検査を実現するバンプ測定検査装置です。

300mm（12インチ）ウェハ用容器 『FOUP』の精密洗浄に特化して開発された洗浄装置です｡

多様化する半導体デバイス、MEMSデバイスの開発等に求められる高度清浄化をサポートするため、形状の複雑なウェーハー容器の精密洗浄に特化して設計された装置です。

ワークの スクラブ洗浄・リンス・乾燥 を一台の装置でスピーディーに行うフォトマスク洗浄装置です。