TECHNOVISION社 TFC-802

TFC-802 FOUP洗浄装置

ユーティリティ
純水：15～20リットル/分 0.1～0.15MPa
C.D.A ：2.3立方メートル/分 0.45～0.50MPa
排水：50ＡＰＶＣ
排気：100Ａ排気ダクト
電源：3相 200V 28Kw (他電圧可)
寸法：1980×1480×1990 (W×D×H)
重量：約900Kg

概要
300mm（12インチ）ウェーハー用容器『FOUP』の精密洗浄に特化して開発された洗浄装置です｡
シンプル構造、コンパクト設計を追求し尚且つ基本となる洗浄・乾燥をテクノビジョン社独自のKnow-how を駆使し効率良く設計された装置となっています｡

特長
■	小型タイプでフットプリントを取りません｡
■	ＦＯＵＰ本体とドアーの１セットで同時洗浄を行います。
■	精密洗浄を考慮した洗浄ノズルの配置と二方向に揺動させる事で均一な洗浄を行います｡
■	至近距離からのジェットスプレーで強力洗浄を行います｡
■	洗浄・乾燥チャンバーの独立により連続プロセスで高スループットを実現。

洗浄／リンス
FOUP内部・外部共に５面をカバーするノズル設置
ホット純水（40～50℃）で高圧（0.5MPa）スプレー洗浄

乾燥／静電気除去
全エリアをカバーするエアーナイフの設置
２段階乾燥方式の採用で完全乾燥を行う
乾燥チャンバー内は８０度までの温度管理

お問い合わせ
丸紅情報システムズ株式会社

TEL：03-5778-8926
FAX：03-5778-8894
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