I2Cデジタル及び0.5～4.5Vリニアアナログ電圧出力と非リニアアナログ電圧出力の２つのモデルがあります。リニア出力モデルはダイアタッチやPCB機器のピックアンドプレースメント等の制御に、又、非リニア出力モデルは機器制御やフィルタ目詰まり検知等です。FS8001は0～500cc/min、FS8003は0～6L/minのフローレンジを持っています。
外形寸法
FS8000シリーズ 仕様
| モデル | FS8001 | FS8003 | FS8001（非リニア出力） | 単位 |
|---|---|---|---|---|
| フローレンジ | （0～500）sccm | （0～6） SLPM | （0～500）sccm | |
| 精度 | ±(2.0 + 0.5FS) | ±6.0FS | m/sec | |
| 再現性 | ±1.0 | ±2.0 | %FS | |
| 出力 | I2C、リニアアナログ 0.5 ～4.5 | 非リニアアナログ | ||
| アナログ出力レンジ | 0.5～4.5 | 0.8～5.0 | Vdc | |
| ヌルシフト | <30 | mVdc | ||
| 出力シフト | <±0.12 | <±0.3 | %/℃ | |
| 応答時間 | 5 | 3 | msec | |
| 電源 | 8~24 | Vdc | ||
| 最大動作圧力 | 0.5 | MPa | ||
| 動作温度 | 0～55 | ℃ | ||
| 保存温度 | -20～65 | ℃ | ||
| 湿度 | < 95 %RH （凍結、結露がないこと） | |||
| 継手 | M5 | Rc 1/8（吸気）、M5（排気） | M5 | |
| コネクタ | SM05B-SRSS-TB （JST） | SM03B-SRSS-TB （JST） | ||