高精度アライメントによる表面活性化接合
超高真空中でFABガンによる表面活性化処理を行い異種材料を常温接合(FABガンオプション)
自動搬送系を組み合わせることで真空ハンドリングが可能(トランスファーオプション）
装置外観
装置寸法
Ｗ1400×Ｄ1000×Ｈ2300mm
装置重量
1500kg
ユーティリティー
電源
3相200Ｖ 50Ａ
圧空
クリーンドライエア 0．5MPａ
Ar Gas N2 Dry air
0．2MPa
※その仕様、詳細についてはお問い合わせ下さい。
