 |
真空チャンバーと高精度アライメント機構を標準装備、サブミクロンでの接合を実現 |
|
各種オプションでナノインプリント装置または接合装置として用途を選択可能 |
|
部品の換装でUVと熱ナノインプリントの両方に対応(ナノインプリントオプション選択時) |
|
カセットtoカセットオプションで量産用フルオートシステムにアップグレード(接合オプション選択時) |
 |
|
| 装置外観 | |
| 装置寸法 | W1000×D1000×H1800mm |
| 装置重量 | 900kg |
| ユーティリティー | |
| 電源 | Power3相200V 50A |
| 圧空 | クリーンドライエア 0.5Mpa |
| ガスパージ 窒素ドライエアー | 0.5Mpa |
