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ナノインプリントシステム

ナノインプリントは、金型を用いて微細構造を機械的に樹脂などに精密転写するプロセス技術であり、機械加工技術(メカニクス)と数10nmオーダーの半導体微細加工技術(エレクトロニクス)とが融合したナノ加工技術として、注目されています。

ナノインプリントプロセスは、サブミクロンオーダーの超精密構造が、電子ビーム描画装置などの高価な露光装置を用いることなく比較的簡単なプロセス装置で実現できるので、半導体やMEMSデバイスの製造コスト低減が期待できる新しいナノ加工プロセス技術として実用化の期待が高まっています。
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