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MEMSプロセスで製造される高い信頼性と大量生産によるコスト競争力をもつ独自のフローセンサーチップ
シアーゴ　Siargo
Siargo社の独自のMEMSマスフローセンサーは、正確なインラインマスフロー計測を提供し必要に応じて仕様をカスタマイズすることが可能です。 MEMSフローセンサーは高い信頼性をもつ独自のMEMSプロセスで製造され、自社工場での生産により低コストで柔軟な製品化を実現しています。複数のセンサーを一つのMEMSチップにインテグレートすることにより、ガスの流量を0.01m/sから65m/sまで測定することが可能です。精度を保証する小信号処理のためのインテリジェントなエレクトロニクスが特別に設計されています。



　マスフローセンサー
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様々なアプリケーション用のマスフローセンサーはSiargoの独自の先進的なMEMSマスフローセンサーとスマートな電子制御システムにより作られています。このセンサーは直径1mmまでの様々なフローチャンネルに完全にカスタマイズすることが可能です。このセンサーはRS485インターフェースを持っており、その他のインターフェースにもカスタマイズ可能です。
 
機能
 8mm/secまでの非常に敏感な測定
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 一つのチップに複数のセンサーをインテグレートすることによりダイナミックレンジを拡大
 標準8～24V電源
 従来のサーマルマスフローセンサーよりも優れたオフセット安定性
 低い圧力損失
 フロー値と積算値の両方を計測
 遠隔管理の為に容易にネットワークに接続できる標準産業通信ポートを装備
 容易にインストールできる小さな外形
 直径1mmまでのフローチャンネルの計測に対応可能
Siargoマスフローセンサー
　医療用マスフローセンサー
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医療用に特別に設計されたMEMSマスフローセンサーはFSシリーズはSiargoの独自の先進的なMEMSマスフローセンサーとスマートな電子制御システムにより作られています。現在の製品は呼吸装置および麻酔装置に適用することが可能です。これらのセンサーは低い圧力損失によってバイパス構造なしでのダイレクト計測が可能です。さらに、医療用の液体による殺菌が可能です。
   
機能
 8mm/secまでの非常に敏感な測定
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 バイパス構造なしで低い圧力損失
 防水による優れた信頼性
 殺菌が容易にできる
 測定精度を向上させるための自動レンジスイッチによる優れたレンジ性能
 組み込みが容易なリニア出力
 早い応答速度をもつ優れた再現性
 容易にインストールできる小さな外形
 RS485/RS232インターフェース、または電圧出力用の電圧レギュレータを内蔵
Siargo医療用マスフローセンサー
　濃度/フローセンサー
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MEMS濃度センサーはSiargoの独自の先進的なMEMSマスフローセンサーとスマートな電子制御システムにより作られています。このセンサーは濃度とともにフローも同時に測定することが可能です。プリキャリブレーションによりあらゆる２つの混合ガスに適応できます。このセンサーはRS485インターフェースを持っており、その他のインターフェースにもカスタマイズ可能です。
   
機能
 マスフローと酸素濃度が同時に計測できます。
 非常に敏感で早い応答速度
 酸素濃度と医療機器のための特別な設計
 プリキャリブレーションによりあらゆるガスの混合物に対応
 バイパス構造なしの低圧力損失
 フロー値と濃度の両方を計測
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 遠隔管理の為に容易にネットワークに接続できる標準産業通信ポートを装備
 容易にインストールできる小さな外形
Siargo濃度/フローセンサー
　オイルエアー潤滑システム用近接スイッチ用センサー
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工作機器等の高速回転しているベアリングの温度上昇や焼きつきを防止するための、オイルエアー潤滑システム用に特別に設計されたセンサーです。このセンサはオイルエアー潤滑システムのベアリングの直前のオイルの有無や、オイルスピードおよびエアーフローを計測することができます。このセンサーを使用することによりベアリングのオイル切れを直近で観測することができ。システム全体の信頼性やオイル使用量の適正化が可能になります。
 
機能
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 オイルエアー潤滑用の特別設計
 高速な応答を持つMEMS近接スイッチ用センサー
 応答時間<3msec
 利用しやすいデジタルRS232およびアナログ電圧出力
 100mm/secまでのオイルスピードを同時計測
 70m/secまでのエアーフローを同時計測
 低消費電力
 低コストのプラスティックまたは金属筐体を選択可能
 RC1/4およびNPT1/4の接続継ぎ手
Siargoオイルエアー潤滑システム用近接スイッチ用センサー
　液体用流量センサー
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8mm以下のフローチャネルの液体の流量を計測するために設計されています。MEMSセンサーの利用により安価で高精度です。センサ表面の特殊コーティングと独自のMEMS構造のために、耐水性のみでなく耐薬剤性も持っていますので様々な液体に適用することができます。
 
機能
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 標準で水、灯油、エンジンオイルに対応
 高速な応答を持つMEMSセンサー
 応答時間<100msec
 バブル検出機能
 優れた再現性
 優れた測定精度と再現性
 利用しやすいデジタルRS232、I2Cおよびアナログ電圧出力
 500mL/minまでのフロー計測が可能
 低消費電力
 容易にインストールできる小さな外形
 RC1/4およびNPT1/4の他の接続継ぎ手に対応
 オプションでディスプレー表示が可能
Siargo液体用流量センサー
　低電力マスフローメーター
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天然ガスやLNG、LPGの様なクリーンなガスメーターに使用できます。幅広いダイナミックレンジは従来のメカニカルガスメーターの鈍さによる収入減を減らすことが可能です。電子メーターはネットワーク管理システムに容易に統合することが可能です。
 
機能
 8mm/secまでの非常に敏感な測定
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 一つのチップに複数のセンサーをインテグレートすることによりダイナミックレンジを拡大
 独自の低電力MEMSフローセンサー技術によりバッテリー寿命は１年以上
 従来のサーマルマスフローセンサーよりも優れたオフセット安定性
 優れた再現性
 エネルギー損失を減少させることによる、従来のメカニカルメーターよりも低い圧力損失
 フロー値と積算値の両方を液晶に表示
 遠隔管理の為にRS485通信ポートによりネットワークに容易に接続
 既存のメーター管理システムとの互換性を提供するパルス出力オプション（各パルス=0.001Nm3）
 メーターのヘッドは設置を容易にする為に180°まで回転
 アセチレンを除く全てのガスが測定可能なEx ia IIC T4爆発試験済み
Siargo低電力マスフローメーター
　マスフローメーター
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産業用MEMSマスフローメーターはSiargoの独自の先進的なMEMSマスフローセンサーとスマートな電子制御システムにより作られています。これは、酸素、窒素およびアルゴンの様なクリーンガスの計測やプロセス制御に使用できます。マスフローメーターはユーザのアプリケーションに適合する様々な業界標準のインターフェースを装備しています。
   
機能
 8mm/secまでの非常に敏感な測定
 サーマルマスフロー原理によりマスフローを直接感知
 一つのチップに複数のセンサーをインテグレートすることによりダイナミックレンジを拡大
 標準8～24V電源（110/220Vアダプターオプション）
 従来のサーマルマスフローセンサーよりも優れたオフセット安定性
 優れた再現性
 エネルギー損失を減少させることによる、従来のメカニカルメーターによりも低い圧力損失
 フロー値と積算値の両方を液晶に表示
 遠隔管理の為にRS485通信ポートによりネットワークに容易に接続
 既存のメーター管理システムとの互換性を提供するパルス出力オプション（各パルス=0.001Nm3）
 メーターのヘッドは設置を容易にする為に180°まで回転
 アセチレンを除く全てのガスが測定可能なEx ia IIC T4爆発試験済み
Siargoマスフローメーター
　Siargo社　会社概要

ISO9001:2000取得済み
設立：2003年
従業員：62人
本社：カリフォルニア・サンタクララ
拠点：上海、北京



丸紅情報システムズ株式会社