小型ポンプ内蔵の微少流量計測器です。本製品は液体および気体のオプションがあり、どちらかを選択して使用します。気体は最大20ml/min、液体は最大6.5ml/minの流量に対応しており、分解能は最大20μl/minです。
外形寸法
LFD1000シリーズ 仕様
| Value | Unit | |
|---|---|---|
| 流量レンジ | ||
| - 液体 | 0.5～6.0 | mL/min |
| - ガス | 2.0～20.0 | mL/min |
| 分解能 | ±0.05 | mL/min |
| 精度 | ±3% or ±0.05mL/min, どちらか大きい方 | |
| 圧力レート | 2.0 | bar |
| 背圧 | ||
| - 液体 | 0.6 | bar |
| - ガス | 0.1 | bar |
| 温度範囲 | 0～60 | ℃ |
| 湿度（ガスオプション） | 0～90%RH 結露および凝結しないこと | |
| 電源 | 5(±10%) | Vdc |
| ウォームアップ時間 | 200 | msec |
| セトリング時間 | ＜20（液体） | sec |
| ＜5（ガス） | sec | |
| インターフェース | I2C | |
| 継ぎ手 | ||
| - 液体 | 1/4" -28 | |
| - ガス | NPTまたはカスタム品 | |
| 流路素材 | ポリフェニルスルホン, PEEK, SiNx, ステンレスまたはアルミ合金 | |
| リファレンス条件 | 20℃, 1013mbar; DI water（液体）または空気（ガス） | |
| ストレージ温度 | -10～+70 | ℃ |
| ポンプ寿命 | 5000 | Hours |
| 防水規格 | IP50 | |
| CE/RoHS | EN61326-1;-2;3 | |
1. 安定した流体では0.02ml/minが達成可能。
2. セトリング時間は流体の安定性に依存。特性値以上の誤差を許容する場合、より流速の早い流体でもセトリング可能。