0～30 cc/min から0～1000cc/min の低いフローレートのアプリケーション用のフローセンサです。最大フローレートはアプリケーションにより感度が最適になるようにご要望により設定し出荷されます。出力はRS232デジタル及び0.5～4.5Vリニアアナログ電圧です。
外形寸法
FS4001シリーズ 仕様
| パラメータ | 単位 | |
|---|---|---|
| フローレンジ | 0～30, 100, 200, 500, 1000 sccm 又はユーザ指定 | SLPM |
| ターンダウン比 | > 100:1 | |
| 精度 | ± (1.5 + 0.5FS) | % |
| 再現性 | ± 0.25 | %（読取） |
| ヌルシフト | ± 30 | mV |
| 出力シフト | ± 0.2 | %/℃ |
| 応答時間 | 65（デフォルト、4, 8, 16, 33, 131選択可能） | ms |
| 出力 | リニア：アナログ 0.5～4.5Vdc / RS232 | |
| 最大圧力損失 | < 30 | Pa |
| 圧力範囲 | -0.08～+0.5 | MPa |
| 電源 | 8～24Vdc、50mA | |
| 動作電流 | 20 typ （RS232非接続の場合） | mA |
| 25 typ （PCとRS232で通信の場合） | ||
| 消費電力 | < 200 | mW |
| 動作温度 | -5～+55 | ℃ |
| ピン出力 | 5ピン、2.54mm 中心間隔、 0.635mm角 | |
| パッケージ素材 | ポリカーボネート | |
| 重量 | 15 | g |
| 保存動作 | -20～ + 65 | ℃ |
| 湿度 | < 95 %RH （凍結、結露がないこと） |