FS4001シリーズマスフローセンサ

製品詳細

0~30 cc/min から0~1000cc/min の低いフローレートのアプリケーション用のフローセンサです。最大フローレートはアプリケーションにより感度が最適になるようにご要望により設定し出荷されます。出力はRS232デジタル及び0.5~4.5Vリニアアナログ電圧です。

FS1015CLシリーズマスフローセンサ

外形寸法

FS1015CLシリーズマスフローセンサ外形寸法

FS4001シリーズ 仕様

 パラメータ単位
フローレンジ0~30, 100, 200, 500, 1000 sccm 又はユーザ指定SLPM
ターンダウン比> 100:1 
精度± (1.5 + 0.5FS)%
再現性± 0.25%(読取)
ヌルシフト± 30mV
出力シフト± 0.2%/℃
応答時間65(デフォルト、4, 8, 16, 33, 131選択可能)ms
出力リニア:アナログ 0.5~4.5Vdc / RS232 
最大圧力損失< 30Pa
圧力範囲-0.08~+0.5MPa
電源8~24Vdc、50mA 
動作電流20 typ (RS232非接続の場合)mA
25 typ (PCとRS232で通信の場合)
消費電力< 200mW
動作温度-5~+55
ピン出力5ピン、2.54mm 中心間隔、 0.635mm角 
パッケージ素材ポリカーボネート 
重量15g
保存動作-20~ + 65
湿度< 95 %RH (凍結、結露がないこと)