製品詳細

半導体ガスプロセス制御、病院酸素ガス監視を含む様々なアプリケーション用のフローメータです。フローチャネル直径は3mmから19mmでバイパス構造では無いために非常に低い圧力損失で計測が可能です。このセンサは-20～+60℃の温度範囲で最大1.5MPaの圧力環境で使用できます。