

MetalMUMPsは2003年より始まったニッケルめっきを用いるサーフェース・マイクロマシニングです。MEMSマイクロリレーの製造のために開発されたプロセスに起因し、その後、MUMPs向けにプロセスは洗練され、MetalMUMPsとして試作サービスを実施しています。スイッチやリレー製品を製造するのに使われています。

下記のデータ、資料等はMEMSCAP社サイトよりダウンロードできます。
MEMSCAP社サイト:ダウンロード
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MetalMUMPs Design rules | 本デザインルールに従いマスクデータを設計 |
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MetalMUMPs CAD Files | 基本プロセス設定ファイルとデザインキット |
MetalMUMPs Reference Materials | 物性値や基板仕様など |
MetalMUMPs Presentation | プレゼンテーションデータ |

