![](images/bg-tt.jpg)
![](images/po3.jpg)
SOIMUMPsは、SOI基板を使用する試作サービスで、MEMSCAP社のVOA製品ラインにおいて製造実績のあるSOIプロセスと技術に起因します。プロセスは、光学系MEMS製品の量産で使われているSOIパターニングとエッチングプロセスフローに基づいています。SOIMUMPsは、熱や静電駆動を含む様々なMEMS構造やVOAや1軸/2軸ミラーのようなテレコム向けの光学デバイスの開発に役立ちます。
![](images/mem1.jpg)
下記のデータ、資料等はMEMSCAP社サイトよりダウンロードできます。
MEMSCAP社サイト:ダウンロード
MEMSCAP社サイト:ダウンロード
![](images/ten.jpg)
SOIMUMPs Design Rules | 本デザインルールに従いマスクデータを設計 |
---|---|
SOIMUMPs CAD Files | 基本プロセス設定ファイルとデザインキット |
SOIMUMPs Presentations | プレゼンテーションデータ |
![](images/ten.jpg)
![](images/img_001.jpg)