SOIMUMPsは、SOI基板を使用する試作サービスで、MEMSCAP社のVOA製品ラインにおいて製造実績のあるSOIプロセスと技術に起因します。プロセスは、光学系MEMS製品の量産で使われているSOIパターニングとエッチングプロセスフローに基づいています。SOIMUMPsは、熱や静電駆動を含む様々なMEMS構造やVOAや1軸/2軸ミラーのようなテレコム向けの光学デバイスの開発に役立ちます。