MUMPsサービスのなかで最も長い歴史を持つPolyMUMPs は、1992年のサービス開始以来、全世界の企業、研究機関や大学から150サイト以上/800ダイ以上の試作の実績を持ち、MEMS業界において標準的に利用されているサーフェース・マイクロマシニングの試作サービスです。
PolyMUMPsは、3層ポリシリコンのサーフェース・マイクロマシニング・プロセスを用い、標準サービスでは、1cmx1cmのダイを15チップ納入します。尚、オプションでチップのダイシング、フッ化水素による犠牲層の除去や犠牲層除去後の付着を防止するCO2による乾燥処理が選択できます。