

MUMPsは、試作から量産に至る幅広いMEMS製造サービスを提供するMEMSCAP社の試作サービスです。標準的なMEMSプロセスを用いる試作として、世界各国のユーザに利用され実績を残しております。MUMPsは、複数ユーザからデザインを集め、同じウエハで一括製造しているので、試作コストを抑え、基礎研究段階で手軽にご利用いただけます。標準サービスはユーザは1cm×1cmのデザインスペースにMEMSCAP社のホームページに公開されているデザインルールに従いマスクデータをデザインします。Runスケジュールに合わせて作成されたデザインは丸紅情報システムズ経由でMEMSCAP社のプロセス工程を経て、約2ヶ月後に最大15個のチップに仕上がります。
MUMPs試作事例の動画データ (合計3分28秒)





