装置外観 | |
装置寸法 | W2500×D2500×H1900mm |
装置重量 | 500kgf |
ユーティリティー | |
電源 | 3相200V 50A |
圧空 | 0.5Paドライエアー |
吸着真空 | -80kPa 1L/min |
ガスパージ 窒素ドライエアー | 0.5Mpa |
反応ガス | Ar 0.2Mpa 0.1L/min |
O2 | |
N20.2Mpa 0.1L/min |
装置外観 | |
装置寸法 | W2500×D2500×H1900mm |
装置重量 | 500kgf |
ユーティリティー | |
電源 | 3相200V 50A |
圧空 | 0.5Paドライエアー |
吸着真空 | -80kPa 1L/min |
ガスパージ 窒素ドライエアー | 0.5Mpa |
反応ガス | Ar 0.2Mpa 0.1L/min |
O2 | |
N20.2Mpa 0.1L/min |